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在晶圆传输与定位系统中，传感器弹性元件的性能稳定性直接影响制造精度。恒弹性合金3J53通过优化的热处理工艺，在宽温度范围内保持稳定的弹性特性。

材料采用冷轧+时效工艺：60%冷变形后在550℃时效4小时。该处理使材料在-20℃至80℃温度范围内，弹性模量温度系数控制在±2×10⁻⁶/℃。在10⁷次载荷循环后，弹性性能衰减＜1%。

通过DMA测试显示，材料在25-100℃范围内损耗因子tanδ＜0.002。在半导体制造环境的温度波动条件下，传感器输出稳定性达到±0.05%，完全满足先进制程的精度要求。